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低氘水純化設(shè)備主要有蒸餾、電解、化學(xué)交換三種工藝。蒸餾法借沸點(diǎn)差異分離,電解法憑電極反應(yīng)速率不同制得,化學(xué)交換法靠催化反應(yīng)轉(zhuǎn)移氘。實(shí)際中常結(jié)合多法,還會(huì)監(jiān)測(cè)氘含量以保障產(chǎn)品質(zhì)量。
EP級(jí)精餾裝置是生產(chǎn)電子特氣的核心設(shè)備,通過(guò)精密精餾提純,使氣體純度達(dá) 99.999% 以上,滿足半導(dǎo)體需求
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